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产品简介
这款来自日本的半导体材料电阻率测试仪,专为晶圆制造、导电薄膜生产、液晶面板制程等环节的工艺管控与质量检测设计,是材料研发与产线品控环节的高效检测工具。它采用行业通用的四探针测量原理,可便捷且高精度地完成半导体基板、金属薄膜、太阳能电池用硅晶圆等材料的片电阻与体积电阻测量,为工艺优化与产品分级提供可靠数据支撑。
设备搭载智能操作面板,支持详细参数设置与功能切换,配合自动调零、自动量程、温度校正等辅助功能,大幅降低人为操作误差,提升测量一致性;内置样品厚度校正与半导体温度校正功能,可适配不同规格样品的检测需求,进一步提升数据可靠性。
采用桌面紧凑型设计,占用空间小,可灵活布置于实验室、洁净车间或生产质检工位;配备打印机接口与数据通讯接口,支持测量数据的实时打印与批量导出,便于数据归档与工艺追溯;整机结构坚固耐用,维护点少,适合长时间连续作业使用。
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